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MEMS压电超声换能器二维阵列的制备方法

作者: 富迪 陈豪 杨轶 任天令 刘理天 来源:江苏理工大学学报(自然科学版) 日期: 2024-07-11 人气:7
MEMS压电超声换能器二维阵列的制备方法
针对超声换能器阵列中阵元密度难以提升和工艺重复性差等问题,提出了一种基于硅-硅键合技术的MEMS压电超声换能器二维阵列的制备方法,并采用该方法制备了阵元间距小至150μm的密排二维换能器阵列。阵列中每个声学单元均为由上电极、压电材料(PZT)层、下电极和支撑层组成的多层膜结构,并通过其弯曲振动模式实现超声波的发射和接收。制备样品的测试结果表明,采用该方法制作MEMS压电超声换能器阵列,具有阵元间距小、工艺流程可靠、成品率高、一致性好、工作频率(2.45MHz)与设计值(2.5MHz)的吻合度高等优点,适用于医学成像等高频超声成像系统。

中空叠合墙板预制工艺及自支撑结构稳定性分析

作者: 王振强 魏奇科 陈豪 廖小辉 来源:混凝土与水泥制品 日期: 2023-10-13 人气:82
中空叠合墙板预制工艺及自支撑结构稳定性分析
结合装配整体式地下综合管廊实际工程应用,总结了中空叠合墙板的预制工艺及制作要点,并通过数值模拟及现场实际工程的吊装施工验证了中空叠合墙板自支撑体系的稳定性与可靠性,结果可为装配整体式综合管廊的生产和施工提供参考。

气动搬运机械手机械结构设计及分析

作者: 龙创平 陈豪 来源:中国设备工程 日期: 2022-03-22 人气:161
气动搬运机械手机械结构设计及分析
在生产工作中,气动搬运机械手得到了非常广泛的运用,从根本上提升了生产自动化程度和机械化质量,实现了劳动力的解放,使人身安全得到了基础的保证。本次研究主要分析了气动搬运机械手的设计,进行了气压系统设计的介绍,期望为后期的气动搬运机械手发展发挥推动作用。

用组态软件设计压力机控制系统

作者: 孙悦 陈豪 罗湘捷 丁立业 来源:四川大学学报(工程科学版) 日期: 2018-11-06 人气:4931
用组态软件设计压力机控制系统
组态软件是近年来流行的、基于WINDOWS平台的先进工控通用软件.将其用于控制逻辑复杂的六面顶压力机控制系统的改造具有界面友好图形化编程支持在线数据库用户可自助设计等优点.因而使设计周期缩短维护费用降低.测试数据表明组态化改造的压机控制系统各主要技术指标都达到或超过了设计要求.通过实时组态实现了负载内部温度/加热功率和内部压力/表观压力的直接比较和自动转换;利用内嵌数据库检索、查询和分析实验数据.该设计方法对更复杂测控系统的设计同样具有参考价值.
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