介绍了方形角尺垂直度误差的测量方法、测量中的关键问题以及测量不确定度分析。

针对压电陶瓷器件在精密定位控制中存在的迟滞、蠕变和位移非线性等不足，本文采用压电陶瓷直接粘贴应变片组成测量电桥作为位置反馈环节，设计了带上下限位的变参数PID闭环控制微位移系统，达到了预期的控制精度和效果。