介绍了应用新型ApμC816芯片为核心研制的工业称重仪的基本功能及其组成框图,并对该称重仪的应用技术特点作了较为详细的说明.

介绍了一种基于光杠杆原理的光学微位移测量系统。该系统的理论分辨力为4nm，实验测得系统分辨力小于10nm。经过实验，验证了该系统的可行性。实验结果表明，该装置灵敏度及重复性好，结构简单，便于构成微电子机械系统——MEMS（micro electro mechanical systems），实现系统微型化及自动化。