针对超精密定位平台的高精度要求，以及气浮轴承的刚度和阻尼相对于气膜厚度的变化存在明显的非线性特性．在分析超精度气浮定位平台的基础上，建立了气浮定位平台直线运动的数学模型和基于滑模控制器（SMC）的系统控制模型，并进行了参数分析和实验研究．结果表明：气浮刚度的增大和阻尼的存在有利于改善平台的定位精度，SMC具有较好的鲁棒性，在受外界干扰较大且存在较大非线性情况下，定位平台仍能达到较好的定位精度．

根据等温容器充/放气法原理搭建了比例流量阀的特性测试平台。对测试所获得的实验特性曲线用小孔质量流量的近似公式加多项式修正的方法进行曲线拟合建立了描述比例流量阀特性的实验模型。所介绍的测试方法测量装置简单测试成本低。所建立的实验模型已运用在减振器主动控制系统中具有良好的控制效果。