针对国际标准规定的几何形状下微小尺寸音速喷嘴加工的困难，探讨应用MEMS技术加工的方形截面喷嘴进行微小流量测试的可能性，重点考察几何形状的差异所造成喷嘴流动特性的改变和相关测试技术的特性。论文具体对微米、毫米量级不同截面形状喷嘴内流场进行系统的数值模拟计算，发现方形截面微小喷嘴流出系数明显小于对应圆形截面，主要原因在于方形截面微小喷嘴喉部流动特性的差异，即喉部截面内只能是小范围能达到当地声速，而不是圆形截面喷嘴喉部界面大部分区域能达到声速，从而使其流出系数较后者明显减小。

针对新国际标准ISO 6358．1中测量气动元件流量特性的两种方法——放气试验和充气试验方法，选取电磁阀和流量控制阀，通过实验分析了不同测试压力和取点间隔对C、b值测试结果的影响；并在相同测试条件下，对两种试验方法所测C、b值的一致性进行验证。测试数据表明：两种试验方法测得的c值受取点间隔和测试压力影响较小；b值受测试压力和取点间隔影响大。相同测试条件下，两种试验方法测出的C值相近，而b值相差太大。建议国际标准在后续修订时能明确测试压力和取点间隔条件，并考虑进一步研究两种测试方法并存于同一标准中的适用性和科学性。

音速喷嘴是气体流量标准装置中最常用的标准流量计,喷嘴临界背压比直接关系到装置的准确度,喉部雷诺数低于2×105的喷嘴需要进行临界背压比测试。建立了一套基于喷嘴串联方法的临界背压比测试系统,将不易准确测量的质量流量转换为较易准确测量的压力,实现了临界背压比的准确高效测量。研究表明,低喉部雷诺数喷嘴临界背压比小于其设计值,且喉部雷诺数越小,临界背压比越低;另外可能出现一种＂非临界状态提前＂现象,引起临界背压比的进一步降低,且降低程度与喷嘴加工水平有关,更加说明了临界背压比测试的必要性。