极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计
极紫外投影光刻(EUVL)两镜微缩投影物镜通常采用Schwarzschild结构和平场结构。本文分析了这两种结构在EUVL不同发展阶段的设计特点,并依据有限距反射系统像差理论,从解析解出发,设计了两套平场两镜系统,分别用于对分辨力为70nm、无遮拦、环形视场扫描曝光系统及目前研制的EUVL 32nm技术节点小视场曝光系统的研究。系统设计指标满足极紫外投影光刻要求。
采用多种群遗传算法的全景成像系统非球面设计
提出了一种基于多种群遗传算法(MPGA)的折反射全景成像系统非球面元件的设计方法。结合广义科丁顿公式及几何光学原理,推导出非球面两镜系统像散表达式。在此基础上,利用MPGA,以像散作为非球面两镜系统像差评价参数,求解出满足消像散及指定透视投影关系的非球面面形方程。给出MPGA求解非球面面形的实现过程,并用遗传算法最小二乘混合优化算法得到了便于实现光线追迹和像差计算的非球面多项式。研制了一个焦距为-1.2 mm,F数为1.5,视场为360°×(35-90°)的折反射全景成像系统,给出了实验图像,获得了较好的成像质量。
基于多媒体的弱视治疗系统研制
设计了用于儿童弱视的诊断及治疗的方法,采用了计算机多媒体技术与现代神经生理学和儿童心理学相结合,实现了面向儿童的多媒体弱视治疗系统,系统主要由诊断系统、治疗系统、病历数据记录与分析系统和专家辅助系统四部分组成.系统提供了从弱视诊断及治疗到专家决策支持的一体化功能.临床应用结果为治愈率达到70%,有效率为93%.结果表明系统能快速、简便、无创、价廉和客观量化地对弱视治疗效果进行评估.
高压多脉冲真空间隙击穿实验研究
在真空间隙击穿机理的理论基础上,设计了高压多脉冲下真空间隙的击穿实验方案,对相同材料的多对电极间隙在高压单脉冲和三脉冲下的真空击穿特性进行了实验研究。实验结果与脉冲下真空间隙的击穿机理相符,对脉冲数量增加对真空间隙宏观击穿场强的影响进行了验证,推断出了决定真空间隙宏观击穿场强的关键因素,并对多脉冲加速间隙最大宏观场强的设计提出了建议。
电子秤装置原理及应用
本文着重介绍了电子秤装置中称重传感器的作用原理以及XK3190定值型称重显示控制器的性能,特点和应用状况。
一种立体视觉反馈强化训练模型
目前存在的立体视觉训练方法普遍缺乏反馈强化训练机制,针对这个问题,为了提供一种反馈的强化训练效果,给出了一种反馈强化训练模型及软件实现。该软件以随机点立体图(RDS)为训练视标,通过一次预训练来获得初始数据,在训练过程中以识别的正确率和反应时间为判断标准,找出双眼不易识别的RDS参数区间并进行强化训练,实现了反馈强化机制。测试结果表明,所得数据及解释符合能量模型,用此方法来训练立体视觉是切实可行的。
不同翼型对旋通风机安全性能对比及优化
基于对旋通风机的关键叶片结构,采用有限元分析的方式对不同的翼型结构性能进行分析。分析认为,NACA翼型结构产生的涡流较小,气动性能要优于LS翼型结构。对NACA翼型结构的静力学特性进行进一步的分析,发现NACA翼型的应力及变形量较小,对通风机的性能起到优化的作用,可以提高通风机的稳定性,保证矿井的通风安全。
基于DSP的轨道移频信号解调实现
提出了以双路TMS320F2812为核心,接收解调ZPW-2000A的FSK信号。前端通过信号调理,利用DSP内部的AD对FSK信号采样。经过FFT变换解调出载频频率、Z-FFT解调低频频率,以及通过DSP的SPI口,对两路解调出的信号进行比较,若一致,则输出。该设计采用双机热备,使系统的工作可靠性更强。结果证明,系统有较高的频率分辨率和实时性。
工艺堵在轴套类零件中的应用
工艺堵是冷加工过程中常用的工装配件,文中针对磨削常用的5种工艺堵进行介绍,为优化加工方案提供参考。
流体动力节能与数字控制技术
<正>为了适应我国现代化建设的需要,在抓好能源开发的同时,还要注意能源的节约。我国液压与气动设备的拥有量,在整个国民经济装备中占有较大的比重。因此,积极开展液体