可见光移相点衍射干涉仪的测试误差分析
为了实现对极紫外光刻投影物镜非球面反射镜的超高精度检测,引入了可见光移相点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并采用自行设计的十三步移相算法和传统五步移相算法对可见光移相点衍射干涉仪的测试误差进行了详细的理论分析及仿真计算,分析结果证明了十三步算法优越性的同时,也给出了要实现干涉仪的超高检测精度应该限定的测试组件的性能参数。为了验证可见光移相点衍射干涉仪及十三步算法的切实可行性,搭建了原理实验装置,通过40次重复测量取平均值的方法获得被检元件面形。实验结果表明:十三步算法和五步算法的结果相近,但十三步算法的重复性优于五步算法。采用十三步算法,在所构建的实验装置上实现了RMS值优于M10000(A=632.8nm)的检测重复性。
可见光移相点衍射干涉仪的空气扰动误差分析
为了提高可见光移相点衍射干涉仪的测量精度, 对空气扰动误差的分析以及有效的抑制是十分必要的。 利用自行设计的十三步移相算法与传统的五步移相算法对空气扰动误差进行了理论分析与仿真计算,分析结果证明了新算法的优越性,并且通过对干涉仪的空气扰动误差的分析,最终得到了干涉仪工作的环境控制条件, 如果采用十三步移相算法, 保证空气温度变化控制在±0.005 ℃以内,压强变化控制在±1 Pa 以内,水汽压变化控制在±5 Pa 以内,温度梯度变化控制在 0~0.01 ℃范围内,压强梯度变化控制在 0~2 Pa 范围内,最后再对多次测量结果取平均,则空气扰动误差引起的位相误差将在测量精度允许的范围内。 在现有的实验条件下搭建了原理实验装置,实验结果表明:十三步算法和五步算法的结果相近,但十三步算法的重复性优于五步算法。 采用...
采用多种群遗传算法的全景成像系统非球面设计
提出了一种基于多种群遗传算法(MPGA)的折反射全景成像系统非球面元件的设计方法。结合广义科丁顿公式及几何光学原理,推导出非球面两镜系统像散表达式。在此基础上,利用MPGA,以像散作为非球面两镜系统像差评价参数,求解出满足消像散及指定透视投影关系的非球面面形方程。给出MPGA求解非球面面形的实现过程,并用遗传算法最小二乘混合优化算法得到了便于实现光线追迹和像差计算的非球面多项式。研制了一个焦距为-1.2 mm,F数为1.5,视场为360°×(35-90°)的折反射全景成像系统,给出了实验图像,获得了较好的成像质量。
新齿滚子链传动设计及动态特性分析
针对链传动中链条及链边振动较大,链条铰链磨损等动态问题,设计一种新齿滚子链传动,建立滚子链及新齿滚子链啮合传动模型,并对链传动动态特性进行仿真分析,研究了链传动在不同转速下啮合冲击力,不均匀系数,摩擦力和链传动横向振动的变化规律.研究结果表明:随着转速的增加,链传动过程中的啮合冲击力,链波动均增加,不均匀系数,摩擦力均减小;在转速小于6000r/min时,链传动横向振动较小,当转速大于6000r/min时,链传动横向振动急剧增加;新齿滚子链传动比标准滚子链传动的啮合冲击力,摩擦力小,传动平稳性好.
轿车用NBR O形密封圈的研制
轿车用O形密封圈胶料的生胶选择NBR2707/NBR3604(70/30)并用,硫化剂选择过氧化二异丙苯(2.5份),增塑剂选择液体NBR(10份),防老剂选择防老剂MB/RD(1/1.5)并用,补强剂选择喷雾炭黑(60份)。胶料性能达到德国大众公司VW2.8.1-P70标准,产品可为大众公司系列轿车配套。
电子秤装置原理及应用
本文着重介绍了电子秤装置中称重传感器的作用原理以及XK3190定值型称重显示控制器的性能,特点和应用状况。
一种立体视觉反馈强化训练模型
目前存在的立体视觉训练方法普遍缺乏反馈强化训练机制,针对这个问题,为了提供一种反馈的强化训练效果,给出了一种反馈强化训练模型及软件实现。该软件以随机点立体图(RDS)为训练视标,通过一次预训练来获得初始数据,在训练过程中以识别的正确率和反应时间为判断标准,找出双眼不易识别的RDS参数区间并进行强化训练,实现了反馈强化机制。测试结果表明,所得数据及解释符合能量模型,用此方法来训练立体视觉是切实可行的。
基于DSP的轨道移频信号解调实现
提出了以双路TMS320F2812为核心,接收解调ZPW-2000A的FSK信号。前端通过信号调理,利用DSP内部的AD对FSK信号采样。经过FFT变换解调出载频频率、Z-FFT解调低频频率,以及通过DSP的SPI口,对两路解调出的信号进行比较,若一致,则输出。该设计采用双机热备,使系统的工作可靠性更强。结果证明,系统有较高的频率分辨率和实时性。
工艺堵在轴套类零件中的应用
工艺堵是冷加工过程中常用的工装配件,文中针对磨削常用的5种工艺堵进行介绍,为优化加工方案提供参考。
流体动力节能与数字控制技术
<正>为了适应我国现代化建设的需要,在抓好能源开发的同时,还要注意能源的节约。我国液压与气动设备的拥有量,在整个国民经济装备中占有较大的比重。因此,积极开展液体