硅片多线切割是硅片生产中一个重要环节,传统的多线切割设备是采用游离砂浆式切割,这种切割方式效率低、成本高。而用于光伏行业的金刚线切割方式出片率高,绿色环保。但由于集成电路行业对硅片质量要求高,且金刚石切割设备价格昂贵,故还未广泛使用。因此,将砂浆切割设备改造成金刚石多线切割设备,并运用数据挖掘方法对切割过程数据进行分析,预测切割质量,反馈、优化关键参数。实验结果表明,改造金刚线设备切割的硅片TTV、Warp、Bow均优于传统砂浆切割。通过设备改造和参数优化,能更好地提高生产效率,保证生产质量,对硅片金刚线切割设备国产化具有重要的指导意义。

在单晶硅加工中,硅片多线切割质量检测耗时和检测成本高造成硅片质量检测难。因此,提出一种基于生成对抗网络(WGAN-GP)数据处理与自注意力残差网络(SeResNet)的硅片质量预测方法。分析多线切割的机制,确定影响硅片质量的工艺参数,建立数据样本,使用WGAN-GP对样本数据进行数据增强。在此基础上,建立基于SeResNet的硅片总体厚度偏差预测模型。以硅片的多线切割加工过程监控数据为模型验证数据,对构建的硅片总体厚度偏差预测模型进行验证。实验结果表明:该模型具有良好泛化性和高准确率,有效解决了小样本数据下的预测难题,实现了平均相对误差小于10%的硅片总体厚度偏差预测,所以基于数据驱动的硅片质量预测来代替硅片加工中的质量检测具有重要的现实意义。

本文阐述了一种智能型电导率仪的软硬件结构及工作原理。本设计综合应用了低功耗、高性能的微控制器及外围芯片，并采用了灵敏度高、稳定性强的电化学传感器。整个系统测量精度高、检测速度快、功耗低、稳定性好，同时具有智能化处理和中英文操作的界面.

基于火电厂磷酸根离子在线测量的精度和稳定性需要，该磷酸根离子监测仪是依据磷钒钼黄分光光度法原理，采用高性能的ARM微控制器和稳定可靠的μC／OS-II操作系统来完成在线式磷酸根离子检测仪管理控制系统的要求。系统智能化程度高、操作简便、稳定性高、功耗低、测量结果精确可靠，可以满足火电厂对水质的磷酸根离子含量监测的需要。

阐述了一种智能在线钠离子分析仪的软硬件设计。采用灵敏度高、稳定性强的电化学传感器。硬件应用低矧高性能的微控制器及外围器件，软件采用μC／OS-II操作系统。整个系统具有精度高、检测速度快、功耗低、稳定性强，操作界面友好等优点。

利用超声波面积比值法的原理,对超声波测沙仪系统设计进行介绍.该系统可在线实时进行泥沙含量测量,并能够对泥沙含量瞬时在线测量显示、温度测量显示、数据存储以及实现无线通讯.

本文介绍了基于ATmega128微控制器的智能在线pH分析仪的设计。本设计综合应用了低功耗、高性能的微控制器和外围芯片，并采用了灵敏度高、稳定性强的电化学传感器。总体设计实现了系统的测量精度高、功耗低、稳定性好等特性，已广泛地应用于水质pH值的在线检测。

本文介绍了基于ATmega128单片机的智能在线溶解氧分析仪的设计。本设计综合应用了低功耗的单片机和外围芯片,并采用了灵敏度高、稳定性强的电化学传感器。总体设计实现了系统的测量精度高、低功耗、稳定性好等特性,同时达到智能化处理和中英文操作的功能,已广泛应用于水质溶解氧的在线检测。