超精密加工机床恒温供油系统的研制
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简介
恒温供油系统是超精密加工中的一项环境条件保障技术。本文介绍了系统的组成、工作原理,以及为达到高精密恒温所采取的措施。该系统温控精度达±0.005℃。相关论文
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