宏微复合平台的微运动动态模型研究

简介

宏微复合平台常应用于大行程运动和高精度定位的场合。基于对宏微复合驱动技术的的分析及研究，提出了一种音圈电机与压电陶瓷复合驱动的宏微复合运动平台结构，其中微运动平台采用压电陶瓷驱动和弹簧预紧，具有结构简单、分辨率高、刚度高和响应速度快等优点。针对微运动平台的主动控制问题，考虑压电陶瓷驱动器驱动电路以及滑块与摩擦复合作用的影响，建立微运动平台动态模型。通过微运动平台动态特性的实验研究，分析滑块与摩擦复合作用对微运动平台平稳性的影响。结果表明，该模型可快速缩短平台到达稳定的时间，满足平台精密定位要求。