提出一种新型声光波导相位调制技术,用于光电集成M-Z光波导干涉型加速度计的信号调制.相位调制器工作在溅射有K8缓冲层的硅基底上,工作波长为1.3 μm.主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优化设计,结果为:氧化锌薄膜尺寸5×0.8×0.003 mm,叉指换能器叉指对数N=17,中心距l=27.19 μm,中心频率f0=48 MHz,中心指长L0=4.46 mm.

本文提出了一种用于精密角度测量的新型干涉仪，使用普通氦－氖激光器，采用声光调制，光外差干涉，电信号混频、比相技术，可得到较高的测量分辨率，干涉仪结构简单，调整方便。

近年来，声光调制技术的应用越来越广泛。由于声光衍射测量是非接触测量，因而具有适应性好、精度高、测量时无需接触被测物体等优点，使其在精密测量方面有着很好的应用前景。文中首先介绍了声光调制的概念及其工作原理，然后介绍了声光调制技术在精密测量方面的应用，包括声光调制在速度测量、激光波长测量、频率测量及折射率测量等方面的应用。