MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,并在航空、航天、军事、汽车、生物医学、环境监控等人们所接触到的几乎所有领域中都有着十分广阔的应用前景。它是未来军用武器装备中的支撑技术和关键技术。在军事领域中迅速应用MEMS技术将是保持军队技术优势、维护国家安全的重要战略。介绍了微电子机械系统（MEMS）的基本特点,并在此基础上着重讲述了MEMS技术在军用设备中的应用现状。

针对微纳卫星,研制了一种高精度冷气推进系统。该系统使用氙气作为推进剂,喷嘴电磁阀采用高频脉冲阀,既可连续推力输出,又可点动脉冲输出。采用集成化的设计理念,结构件采用轻质合金材料,实现了推进系统的轻量化和小型化。最后进行了地面性能、压力和泄漏试验,试验结果表明,冷气推进系统具有较高的可靠性和稳定性,在微纳卫星姿态调整、轨道转移和离轨等多任务方面具有广泛的应用价值。