为测试微悬臂芯片的动态特性,建立以压电陶瓷为激振底座的测试系统。采用白噪声、稳态正弦和快速正弦（啁啾信号）扫频方式激励微叠层悬臂芯片,由多普勒测振仪测试芯片动态响应。通过分析压电陶瓷阻抗变化与芯片动态响应,获得的频率对应于压电陶瓷激振器所激励叠层芯片的一阶共振频率,可作为微结构和器件动态分析的测试方案。

依据涡流检测的阻抗分析原理和仿真差动探头检测时的双频阻抗数据，在Ansys仿真基础上对数据进行相位旋转相减的混频算法处理，实现支撑板干扰下的缺陷信号识别。分析表明，该算法具有较强的通用性，能有效地识别支撑板干扰时的缺陷信号。

该文以阻抗分析法研究了超声波对石英晶体微天平（QCM）响应特性的影响，结果表明，在超声波存在时QCM的纵波传播与反射受到干扰，QCM的阻抗一频率曲线上出现很多的毛刺干扰波，使QCM的信噪比下降。当采取消除纵波干扰的措施后，毛刺干扰波消失。实验测试了QCM的谐振频率及动态电阻对表面质量负载变化及液体粘度、密度改变的响应，证实超声波对QCM的厚度剪切模式无影响。QCM应用于监测表面活性剂去除油污膜的过程，结果表明在超声波作用下油污膜的去除速率大幅度提高。

本文介绍了测量金属板间间隙的涡流检测实验系统和该系统的工作机理、硬件实现框图及软件框图.经实际测量,其阻抗分析表明,该涡流系统具有结构简单、便于测量的优点.

为了实现双频涡流无损检测中的有用信号提取，将正交矢量型锁相放大器应用于无损涡流检测。依据涡流检测的阻抗分析原理，利用移相技术和相关检测的算法实现了在双频涡流检测中对微弱信号的幅值、相位二维信息的提取和不同频率信号的分离。这种方法有效的抑制了噪声，实现了双频涡流检测的阻抗正交分解，实验表明，该方法稳定性和精度较好，对其他涡流检测也有借鉴作用。

为了满足带轴锥齿轮超声研磨加工的谐振频率要求,利用波动理论对不同结构的3种带轴锥齿轮的超声变幅系统进行谐振设计,建立了统一的谐振频率方程,并对位移放大系数和最大应力进行了比较。运用有限元方法,对由复合变幅杆和换能器组成的超声激励-变幅振动系统进行了模态分析和谐响应分析。最后对超声振动系统进行了阻抗分析和频率测试。试验结果表明：实际超声振动系统的谐振频率为23.269kHz,与设计频率误差约1.17%,试验结果与有限元分析和理论分析结果基本吻合,验证了理论设计的准确性。