在碱性条件下预先合成脲醛树脂单体,然后在酸性条件下于石英晶体的电极上原位合成脲醛树脂高分子薄膜,制备了石英晶体微天平湿度传感器。同时考察敏感膜厚度对检测灵敏度的影响以及传感器的响应特性、重复性和稳定性。试验结果表明：涂敷脲醛树脂薄膜的传感器频率随测试的相对湿度变化明显,传感器具有良好的重复性和稳定性。制作的湿度传感器可应用于实际的生产、生活中。

该文以阻抗分析法研究了超声波对石英晶体微天平（QCM）响应特性的影响，结果表明，在超声波存在时QCM的纵波传播与反射受到干扰，QCM的阻抗一频率曲线上出现很多的毛刺干扰波，使QCM的信噪比下降。当采取消除纵波干扰的措施后，毛刺干扰波消失。实验测试了QCM的谐振频率及动态电阻对表面质量负载变化及液体粘度、密度改变的响应，证实超声波对QCM的厚度剪切模式无影响。QCM应用于监测表面活性剂去除油污膜的过程，结果表明在超声波作用下油污膜的去除速率大幅度提高。

基于QCM的气体传感器具有灵敏度高、结构简单等优点，是有潜力的气体传感器。但是，存在着选择性差的问题，而工作过程环境气体因素，如水蒸汽、有机挥发性气体（VOCs）等的影响，是必须解决的问题。首先，以石英晶体微天平传感器（QCM）为测试平台，研究以纳米ZnO作为敏感膜的湿度检测敏感特性。实验结果表明：纳米氧化锌作为敏感膜，在一定的湿度范围内有很高的灵敏度和重复性。其次，用六甲基二硅胺烷（Hexamethyl disilazane，HMDS）对纳米ZnO膜进行处理时发现，与未用HMDS处理的纳米ZnO膜相比较，该纳米ZnO对湿度的响应敏感度明显降低，特别是在高湿度时。进一步的研究发现，用HMDS处理后的纳米ZnO膜对有机气体，如乙醇仍有很好的响应。该种特性可以被用来开发对水蒸汽具有抗干扰能力的气体传感器。