介绍了液压技术在多线切割机锥形收线轮系统中的应用,对液压油缸以及满足液压要求的收线轮主轴系统的主要结构和性能特点做了说明。

针对多线切割机线锯缠绕换向和往复走丝加工硬脆材料,导致线锯张力变化影响加工精度的问题,提出一种新的张力预补偿控制策略。首先通过自主研发的多线切割机和张紧轮系统,研究线锯在导轮两侧的张力变化规律。然后根据线锯张力波动对张紧轮角位移的影响得出张紧控制系统的预补偿模型,结合伺服系统三环架构,设计基于可编程运动控制器的多线切割张力预补偿控制器,进行张力预补偿控制与伺服系统自带的传统PID控制下的张力波动与速度跟随性能测

多线切割机排线机构是走线系统正常运行的主要机构。传统的排线机构存在各导轮之间钢丝张力波动较大、易造成钢丝拉断的缺陷。文中介绍了一种新的设计方法：通过建立导轮张力包角模型,得出导轮两边张力与包角大小和摩擦系数之间的关系;由排线机构中导轮与滑轮之间相对的几何位置,推导出钢丝张力和包角与设计参数L1、H之间的关系表达式。利用优化方法确定导轮与滑轮之间最佳的几何位置,使排线机构工作时钢丝张力波动最小,在多线切割机往复走线过程中,有利于放线辊上的钢丝会逐渐过渡到收线辊上,保证了收放线系统平稳、有序地运行。

多线切割技术是目前硅片切割加工中广泛采用的技术,而切割机床走丝系统的张力控制对硅片的加工质量有重要影响。文中对切割线张力的特点和控制要求、常见的张力控制方式以及采用伺服电机控制的张力控制系统等问题进行了研究与探讨。