现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展，对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求。目前的一些测量方法分别存在各自的缺点与不足，在缺少更高准确度计量标准的情况下，往往采用比对的方法使计量结果趋于一致。国际计量局在1998年把纳米尺度线宽计量确定为纳米尺度基本特征国际关键比对项目之一。文章对它的主要研究内容以及进展情况作了介绍。

<正> 在过去的35年中,电子技术发展十分迅猛.电子工业正凭借它的优势,从每18个月使一个微芯片上半导体管数翻一番的速度运行着,并引起了电子工业的革命.在一个邮票大小的范围内制造出数百万个微单元器件已引起手提电话和个人计算机等制造领域的极大兴趣.利用微电子材料和工艺,可构造出微梁、槽、齿轮、薄膜以及电机,微电机能用来驱动原子以及打开或关闭激励微流量液体的微阀.这些机械元件的大小要用微米来计算.并且象半导体工业一样,一次能制造出数百万个元件.

本文结合掩模缺陷自动检测系统的精密扫描工件台的特点,采用CAD技术对其动态特性进行实验模态分析,给出该系统的实验结果和识别的模态参数。

介绍CAN总线及其通信协议J1939,并设计基于CAN总线的多ECU通信平台的硬件结构;阐述节点ECU通信的软件设计方法,在仿真试验的条件下实现数据通信的功能.试验表明该平台运行稳定可靠.

NIPRONCU-10型血透机是比较成熟的一种血液透析机,它利用两组硅油泵相互交替切换工作,达到精确的配比透析液,并用密闭的硅油系统精确的控制病人脱水的目的.NIPRO机器中央控制的集成电路基本集中在机器上半部分,而水路部分则分布在机器下半部分,这样,避免了电路板遭受漏液的腐蚀,高质量的保证了电路板的正常工作,而使维修相对集中于水路部分.本文就有关液压系统部分的故障分析与检修总结如下.