设计了一套用于控制薄镜面主镜面形的力促动器,并进行了实验测试。分析了常用的可以实现高精度、高稳定性的力促动器结构形式;结合实际情况和目前薄镜面主动光学实验系统的要求,设计了由步进电机驱动谐波减速器、精密丝杠传动,S型Loadcell反馈输出力变化的力促动器结构。最后,通过开环和闭环实验对结构进行了测试。实验结果表明,该力促动器行程为0~10 mm,输出力为—100 ~100 N,精度优于0.05 N,满足大行程、高精度微量输出和高稳定性要求,可以应用于主动光学支撑系统,同时也适用于其他精密调整结构。

鉴于气体促动系统简单、经济并具有快速反应的特点，设计了一种用于主动光学的无摩擦线性气体力促动器结构，以及相应的高频高精度电磁比例调压阀，并做了仿真分析和实验验证，结果表明比例阀调压的气体力促动器输出力在±100N范围内精度可达O．05N，PID控制的力促动频率达到0．5Hz以上。