由于传动机构的刚度有限,扫描装置驱动元件的运动和扫描镜的运动是不一致的.为揭示两者的运动规律,建立了扫描装置的动力模型,该模型考虑了传动机构刚度和系统阻尼的影响.通过对模型的振型分析,得出扫描装置的运动方程,并用Matlab仿真实验对分析结果进行了验证.分析结果表明驱动元件转子的运动和扫描镜的运动都可视为两种运动分量的合成一种是两者作为一个刚体的运动,另一种是两者各自独立的运动.分析得到的结论为系统控制和性能评估提供了理论依据.

为提高现有喷嘴挡板型电液伺服阀的静、动态性能，采用双压电晶片及铍青铜制作出喷嘴挡板式压电阀的电一机械转换器．针对压电层和金属层的宽度、长度和厚度等结构参数对电一机械转换器静、动态性能的影响进行了理论、仿真及实验研究．结果表明：宽度对静、动态性能没有影响，输出位移同长度的平方成正比．长度增大时，幅频宽和基频减小；金属层厚度或压电层厚度增大时，输出位移减小，幅频宽和基频增大．最后对电-机械转换器的振型进行了仿真分析，结果表明满足设计要求．