该文综述并分析了微流体系统的研究现状及发展趋势,提出了微流体系统多能域建模和仿真的功率键合图方法,对微流体系统的研究具有参考价值。

当2片聚二甲基硅氧烷接触时，黏附阵列中每根绒毛通过侧面与另一层的一根或多根绒毛的侧面接触，形成可逆封装。根据Baney-Hui的弹性圆柱体接触模型，得到了单根绒毛黏附力表达式。接着分别讨论了黏阵列的单面和双面接触形态以及相应封装强度。结果表明，双面接触形态的封装强度更大，最后用模版法制造了黏附阵列。

研究了电感法检测液压油中铁颗粒含量时，油液通过微流体检测芯片的过流速度对检测结果的影响。设计制作了做通道一电检测芯片，搭建检测系统，对不同过流速度下的检测信号值进行了对比和分析。结果表明：对于铁颗粒含量相同的液压油，其通过检测一出片时的电感信弓值随着流速的增加而线性减小。该研究结果对于提高电感式微流体油液检测芯片的检测精度有参考价值。

在液压系统中,金属磨粒是影响液压系统正常运转的一个重要指标。所介绍的芯片是一种环形流道,基于电感电容原理的微流体油液金属颗粒计数器,当液压油中的磨粒、气泡和水滴流经空间微螺线管时引起了磁通量变化或介电常数的变化。用电感检测方法,在2 MHz的激励频率下使用27匝线圈能检测到30μm铁颗粒和110μm铜颗粒;用电容检测方法在1.3 MHz的激励频率下能检测到100μm的水滴和180μm的气泡。铁的检测精度明显提高,其余在原有的检测精度基础上提高了信噪比,同时增大了流道直径,检测液压油的通量变大,提高了检测颗粒的效率。改进后的芯片具有良好的实际应用价值与广阔的发展前景。

该文综述并分析了微流体系统的研究现状及发展趋势,提出了微流体系统多能域建模和仿真的功率键合图方法,对微流体系统的研究具有参考价值.