用三坐标测量机进行复杂曲面测量时,需要对测头进行半径补偿。本文在对比各种测头半径补偿方法的基础之上,对三角网格法进行了研究。首先依据最小角最大原则对曲面进行三角网格划分,然后逐次求解每一个三角形的法矢量,并对测量数据进行测头半径补偿。三角网格法以曲面的法矢量为基础,这有利于测量方向与补偿方向一致,提高半径补偿的精度。