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一种新型的大行程的微定位装置

作者: 沈坚 汪秀琳 蒋加文 范英模 来源:过滤与分离 日期: 2022-08-30 人气:5
一种新型的大行程的微定位装置
能够高精度定位的直线位移驱动装置在精密光学机械工程以及其它领域都具有很大的实用价值。为此,我们设计制造了一种结构小巧灵活、能实现大行程和高精度定位的直线位移驱动装置。
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