介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备.设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构,分别用于检测三个垂直方向的加速度.同时,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析.用有限元分析工具ANSYS对器件进行了模拟,模拟结果显示出器件设计的合理性.最后,给出了制备工艺和测试结果.

微尺度下，压膜阻尼对微机电系统（MEMS）微结构功能特性有很大影响。从滑流效应、挤压效应和穿孔效应三个方面对平板间气膜阻尼进行理论分析，运用可压缩气膜的雷诺方程对由垂直运动产生压膜阻尼进行模型分析，详细介绍了线性Reynolds方程的多种近似解，建立了热流方程模拟的有限元分析模型，分别针对滑流、挤压和穿孔对气膜阻尼的影响进行了有限元模拟仿真及讨论，并与近似的理论结果进行对比，结果表明：滑流效应对压膜特性影响较大；增大孔径可以减小气膜阻尼和刚度系数，减小压膜阻尼对MEMS微结构的影响。

分析论证了压膜阻尼应用于声表面波加速度计的可行性.利用机电模拟方法,建立完整的声表面波加速度计等效电路模型.通过对该模型进行计算机仿真分析,总结出各种压膜阻尼参数影响声表面波加速度计性能的规律,从而为声表面波加速度计的设计提供重要的理论依据.