接触式干涉仪示值误差检定及滤光片校准
接触式干涉仪是应用光波干涉原理,对微小位移进行测量的精密仪器。采用比较法,即将被测量与标准量相比较从而测得其差值的方法,其可用于检定长度不大于150mm的量块和其他工件的精密测量。仪器读数窗中刻度尺刻度范围为±50分度,刻度尺的分度值(可调)推荐采用的为0.05μm、0.1μm、0.21μm三种。
测长机毫米刻度尺示值误差的测量不确定度评定
(1)测量依据:根据 JJF1006- 2000《测长机校准规范》。 (2)测量标准:三等量块。 (3)被测对象:测长机,其分度值为 0.001mm。
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