本文介绍了一种基于光反射法测量水溶液中固形物含量的新方法.当选用CCD作为光敏器件时,对CCD感光面上反射光强分布有着严格的要求,本文给出反射光强分布与光路各元件的关系,计算和分析结果表明采用反射法是适宜的.

为研究MEMS的微摩擦需设计一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器,尤其是能进行微机构摩擦力和正压力测试的大范围、高灵敏度的微摩擦检测装置.给出了一种基于光反射法的微摩擦测试仪的设计方法,介绍了该仪器的设计原理、测力传感器的结构设计、仪器的标定方法.硅测力传感器采用MEMS工艺制作,具有变形量大、线性度好、灵敏度高等优点.实验结果表明,该测试仪能满足微机电系统微摩擦测试的需要.