研究颗粒尺寸和散体密度对热能吸附制冷吸附剂CaCl2热导率的影响.采用稳态同心圆筒壁法的原理搭建热导率测定试验台,对均匀CaCl2颗粒散体的热导率进行试验,得到不同颗粒度CaCl2热导率随温度变化的曲线和回归方程.试验结果表明CaCl2的热导率存在一个临界颗粒尺寸,并且临界颗粒尺寸的出现和CaCl2的密度无关.从传热机理解释CaCl2热导率的影响因素,并提出一种新的临界尺寸理论.

分析了现有线边缘粗糙度（Line Edge Roughness,LER）表征参数的不足,针对二维LER的表征参数信息量缺失,提出了基于子波中面的LER参数表征.子波理论给LER的综合评定提供了恰当的工具.利用子波在空间和频率域内都具有的定位特性,可以在任意细节上分析信号特征,且构造的子波基准线不存在拟合误差,可以分析LER来源,改进刻线边缘加工工艺.给出了基于子波分析的几个LER评定参数,并分析了这些参数如何应用于工艺和元件电气性能的表征.