使用要求离轴椭球镜的面形PV（峰谷）值优于0．4λ（λ=351nm）。根据三级像差理论球差表达式和补偿检验原理，得出检测光路中球面补偿镜的半径表达式。由已知数据求解补偿光路的初始结构参数，并带入软件中得到优化后的设计结果，优化后的结果和初始结构参数没有变化，说明补偿光路的求解方法是正确的。考虑到元件的加工误差和检测光路的调试误差，将误差带入检测光路进行模拟分析后，得出被检元件的面形精度：取98％的合格概率时，椭球镜的面形PV为0．379λ（λ=351nm），能够满足使用要求．说明离抽椭球面的反射式补偿检验法是可行的．