微机电系统(MEMS)动态应力的瞬态特性决定了传统的应力测试系统无法直接满足它的测试需要。介绍了一种依据高频调制原理设计实现的基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统,该测试系统是一个典型的光—机—电集成的MEMS测试系统。利用此测试系统对硅微谐振器支撑梁根部的单点进行了动态应力测试,测试结果与理论分析相吻合。实验表明,此测试系统具有高精度、非接触式、无损伤等特点,能很好地满足MEMS动态应力测试的需求。

在测量物质的拉曼光谱时，存在着比拉曼散射光强10^3-0^6倍的瑞利散射光，会严重影响拉曼光谱信号的获取。为此，研制了半宽度分别为18nm（峰值波长532nm）和25nm（峰值波长633nm）、光学密度均大于4的重铬酸盐明胶全息窄带带阻滤光片，并将它们用于由平场光谱仪、CCD探测器和计算机控制系统等组成的小型拉曼光谱测试仪中，以滤除瑞利散射光，获得信噪比较高的拉曼光谱信号。对四氯化碳、乙醇以及丙酮等液体样品进行测量的结果表明，在拉曼光谱测试仪中采用该全息窄带带阻滤光片后，可快速测得待测样品的波数低至217cm^-1的拉曼光谱。

介绍了显微镜空间分辨率的基本分析方法,并由此说明数值孔径NA的重要作用.讨论了照明光束直径等参数对空间分辨率的影响.最后指出,在共焦显微拉曼光谱仪中,宜按100×物镜的要求优化光路设计.

介绍了拉曼光谱仪采用的共焦显微术的广泛应用;叙述了真共焦显微术的基本原理和优点,以及简单共焦(即"赝共焦")显微术的主要缺点;列出了有关实验结果及数据对比.