针对非球面度为0．2λ的大口径抛物面反射镜，采用激光干涉法在ZYGO干涉仪上进行直接检测．对从干涉图获得的实际波面与理论计算的理想波面进行相减，得到被检抛物面镜的实际面形误差．将表面绝对检测技术引入非球面面形检测中，并与波面相减技术相结合，从而使检测准确度提高了0．1λ．用自准直法验证了本方法的可行性．

分析了计算全息位相探测干涉仪系统的原理特点，提出三波面类剪切干涉法，以消除系统误差，提高非球面检测精度，达到绝对测量的目的。该法使用ＣＧＨ位相探测干涉仪测量精度提高到λ／５０。