给出了系统完整的机电耦合动力学模型。利用拉格朗日方程建立了系统的力学模型，考虑了平台各个电磁力之间的耦合以及传感器组的几何中心与平台质心不重合带来的耦合效应；基于PID控制理论建立了平台控制系统的微分方程，分析了传感器与控制磁极非共点安装产生的耦合影响。最后，基于系统的机电耦合动力学模型，进行了平台运动稳定性分析，得到了平台实现稳定悬浮时控制参数的选择范围，垂直方向：0．3〈Kp〈141．5，0〈Kd〈0．052，水平方向：0．3〈Kp〈77．4，0．001〈Kd〈0．038。实验结果表明，控制参数选择范围准确，稳定悬浮时平台具有良好的动、静态性能。

介绍一种应用于半导体光刻、微型机械、精密测量、超精密加工、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台,通过分析其数学模型的特点,采用多变量非线性的逆系统理论,对直线电动机驱动的磁悬浮平台这一多变量、非线性、强耦合的对象通过状态反馈进行推力动态解耦控制,使其成为三个独立的子系统,并用线性理论进行分析和设计.为了改善系统响应的快速性,采用复合控制方案.仿真实验结果表明,这种控制方案有较好的动态和静态特性.

介绍一种应用于半导体光刻、微型机械、精密测量、超精密加工、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台,通过分析其数学模型的特点,采用多变量非线性的逆系统理论,对直线电动机驱动的磁悬浮平台这一多变量、非线性、强耦合的对象通过状态反馈进行推力动态解耦控制,使其成为三个独立的子系统,并用线性理论进行分析和设计.为了改善系统响应的快速性,采用复合控制方案.仿真实验结果表明,这种控制方案有较好的动态和静态特性.