悬丝支撑加速度计标度因数温度系数补偿方法研究
温度是影响加速度计标度因数的最主要因素,标度因数的温度系数是评价标度因数随温度变化的程度。本文根据悬丝支撑的摆式加速度计工作原理,分析了温度变化对标度因数的影响,同时给出了标度因数温度系数的补偿原理和方法,并通过试验进行了验证。
基于光纤Sagnac干涉仪的高精度宽谱光源平均波长测量技术
精确测量宽谱光源平均波长对研制高精度光纤陀螺具有重要意义。提出了一种高精度宽谱光源平均波长测量方法。采用令保偏Sagnac环彤干涉仪实现宽谱光信号的干涉,采用微弱相位信号检测技术实现光波长信息的提取。推导出了宽谱光平均波长的数学模型,提出了光路设计方案和信号处理方案,提出了不敏感Sagnac效应的四态方波偏置调制单边解调的波氏检测算法。精度分析表明该方案可以实现高精度的宽普光源平均波长测量。设计了基于FPGA的微弱信号检测电路实现±π/2±3π/2四态方波偏置调制单边解调加闭环反馈算法,验证了该测量方法的可行性。
硅微谐振式加速度计2种谐振结构比较
硅微谐振式加速度计多采用双端固定音叉(DETF)作为谐振结构,而传统的单根振梁结构也具有其独特优势。该文通过理论分析、有限元仿真和实验验证,给出了2种谐振结构的比较结果:单根振梁结构的标度因数约为DETF的1.76倍;随着工作环境气压的增大,DETF结构的机械品质因数Q从单根振梁结构的1.95倍(气压为0.01 Pa)减小至1.12倍(气压为86.8 Pa)。此外,由于国内现有微加工工艺限制,加工得到的DETF结构2根振梁的谐振频率存在一定误差,给外围电路的设计造成了一定困难。
高精度数字式倾斜仪的设计与实现
为了提高数字式倾斜仪在全温度范围内的测量精度,根据倾斜仪中倾角敏感器件输出的温度特性提出了有效的零位温度曲线补偿算法和标度因数温度系数曲线补偿算法。试验结果表明,该算法能有效地改善零位和标度因数的温度特性,倾斜仪在全温度范围内测量精度可达到0.03°,并对数字式倾斜仪的检测原理和硬件实现作了详细阐述。
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