针对目前横向加载单向变形静电微驱动器存在的位移过小或驱动电压过大的问题，提出一种基于纵横弯曲变形原理的硅基大位移低电压静电微驱动器模型，将弹性力由传统意义的恢复力改变为驱动力，推导出微驱动器挠度变形的控制方程．通过仿真发现，该驱动器的驱动位移高达145μm，远大于目前微驱动器的变形量；驱动电压仅为5V，远低于目前微驱动器的驱动电压值．

利用压电材料具有正逆压电效应的特性，设计制作了压电式自感知微驱动器，同时实现了在一个器件中传感与驱动两种功能。通过Matlab软件仿真和实验，对该方法的正确性和可行性进行了验证，结果显示该方法可行，效果良好。

讨论了石蜡热膨胀性能,分析国内外基于石蜡热膨胀的微驱动器的工作原理和特点,并介绍笔者研制的一种电磁驱动热膨胀型无缆双向微驱动器。该驱动器基于蠕虫移动原理,并可通过外加磁场控制移动方向,成功地实现了无线驱动方式下的双向运动,使其在大驱动力、大变形量和医用内窥镜方面具有明显的优势。

压电元件在驱动微操作系统时，其输出位移要小于空载状态下的输出位移，针对众多引起压电元件输出位移减小的原因，重点分析了压电陶瓷输出位移与负载刚度之间的关系，并进行了压电陶瓷驱动弹性负载的实验。实验结果表明，压电元件的输出位移随着负载刚度的增加而减少。此结果为设计微操作系统时选用压电元件提供了理论依据。

讨论利用尺蠖运动机理实现大行程线性运动的微型驱动器，特别就其U形箝位机构对驱动器运动精度的影响进行探讨。分析结果表明，电磁箝位脚与行走台面间磁路气隙的大小将影响箝位力和箝位剩磁力的大小；箝位脚因箝位剩磁力和重力引起的摩擦力而发生挠变形，此箝位脚的刚度将影响微驱动器行走步长或导致回窜；箝位力不足或箝位剩磁力过大时可致二维驱动器的直线运动发生偏转。文中研究的驱动器，电磁箝位脚与行走台面间的磁路气隙应不小于5μm，以20μm～40μm为最佳；驱动器伸缩部分的最小伸缩量△L应大于0．52μm，驱动器才能有累加位移；二维驱动器的空载直线运动的最小箝位电磁力席大于27．8N。

本文介绍了一种非接触式的、高精度的微扭矩动态测试仪，并对其中的两项关键技术－非接触微力制动及微力自动加载进行了论述，同时给出了仪器的准确分析及实际测量结果。

微驱动器是微机电系统运行的关键,压电驱动器作为新的驱动元件在这一领域迅速发展起来.它具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单.本文介绍了微机电系统、压电驱动器的概念,并对国外微机电系统中压电驱动器的发展及应用情况进行了详细、全面的介绍,同时指出了压电驱动器研究领域需深入探讨的关键技术.

介绍了一种新型多晶硅电热微夹钳,该夹钳在V形电热微驱动器的作用下,能够产生近似线性的位移和产生较大的夹持力.在全面考虑了空气对流、辐射、热传导及材料特性等各种因素的情况下,建立了该电热微夹钳的有限元模型,利用该模型分别进行了稳态和瞬态的仿真分析,模拟出输出位移和温度场随电压的变化情况,以及电热微夹钳的热响应时间.对仿真的结果进行了讨论.