应用两种方法对三个高精度平面进行测试。第一种方法是Fritz的三面互检法，它利用Zemike多项式的特性拟合三个面四次组合测量得到的干涉图，然后求出三个面的Zemike多项式系数，从而得到三个面的面形偏差。第二种方法是奇偶函数法，根据函数的奇偶性，把平面的面形函数分解为四类：偶奇、奇偶、偶偶和奇奇函数，分别求出各分量，从而得到三个面的三维面形偏差。对两种方法都编制了理论模拟和实测程序，并进行了实验，实现了无参考面的高精度平面面形测试。