本文实现了由ARM9芯片AT91RM9200和滑动指纹传感芯片AT77C104BFingerChip构成的、基于Linux的指纹采集系统。同时利用一种快速的指纹拼接算法，拼接出完整的高质量指纹图像，使低成本、低功耗和小面积的滑动指纹传感器达到与传统的指纹传感器相同的效果。

为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数，结合微器件的特征，利用光学的方法对MEMS器件进行了运动分析。提出了基于相位相关与块匹配相结合的运动检测技术，并对MEMS器件的运动图像序列做了分析与处理，得到了其动态特性参量，为MEMS器件的设计提供了重要参考。实验结果表明，该方法具有较好的测量精度和测量速度，测量重复性可达到44nm。