提出了一种新的测量系统对微小角度进行高精度的实时测量,并给出了系统的测量原理和设计.测量系统将位置敏感探测器(PSD)与计算机测量控制相结合,用光学的方法实现了在较高精度下对微小角度的动态测量,在±20'角度变化范围内可以达到0.1'精度,可以广泛的应用在小角度的高速高精度测量中.

介绍了一种基于DSP＋PSD体系结构的微小位移测量的系统。详细叙述了该检测系统的测量的原理，数字信号处理器（DSP）采样，硬件电路的实现，信号接收控制模块，软件设计和具体实现的流程框图。此系统可开发成便携式微小位移测量模块，具有体积小，能耗低，精度高的优点。适用于户外作业和在自动化生产线上实时检测及校准。

研制了一种基于PSD的激光三角法非接触式光电转轴测量系统。阐述了系统的工作原理和结构设计，进行了转速和偏心度的测量实验。结果表明，该系统能够在测量转速的同时，准确地得到转子的偏心度，理论分辨力可达14μm，测量相对误差均不大于5％。该系统具有结构简单、精度高、可靠性好等优点，可实现在线实时测量。