碧波液压网 欢迎你,游客。 登录 注册

长轨迹面形测量仪的设计

作者: 王长山 来源:光机电信息 日期: 2022-07-26 人气:3
长轨迹面形测量仪的设计
为非接触到测量同步辐射柱面反射镜的表面形状,倾斜误差和曲率,设计了一个长轨迹面形测量仪,该光学系统以具有大景深锥光束干涉仪的原理为基础,光学系统关键特性是零程差光束分束器,它把激光束分成共线的可变分离的探测光束。用线阵列探测器记录图像的干条纹,并分析条纹定位与扫描位置的函数关系,使能再表面形状,光学头安装在一个滑动的空气轴承座上,能测量38in长非球面光学零件,这是在同步辐射(SR)应用中常遇到的
    共1页/1条