介绍了集成微透镜阵列光学器件，建立了开孔式离子扩散的数学模型，并对求解结果进行了分析和讨论。设计了离子交换型平面集成微透镜阵列的工艺流程及具体工艺参数，并研制成功该器件且给出其光学特性参数。

光谱仪作为一类重要的测试仪器，随着微光机电系统的发展，其微型化趋势日益明显。光谱仪的小型化趋势可以追溯到20世纪90年代，经过十几年的发展，国际上已经出现了很多种采用先进制造技术的微型光谱仪，国内也有很多科研院所致力于微型光谱技术的研发。目前，国际上的微型光谱仪主要是依靠MOEMS、LIGA、二元光学和集成光学光波导技术等微细加工技术进行制造，有些尚处于实验室原理样机阶段，但是随着微细加工制造技术的飞速发展，批量生产商品化的微型光谱仪已经为时不晚。本文重点介绍了基于调制原理和基于光纤传感特性的两类微型光谱技术，阐述了发展微型光谱仪器技术的重要意义。

为消除Y波导多功能集成光学器件潜在的薄弱环节提高其可靠性,通过＂试验-分析-改进-再试验＂对器件进行可靠性增长。分析了环境应力对Y波导多功能集成光学器件的影响,并对器件的可靠性进行摸底,暴露出潜在的薄弱环节为耦合胶耐高温高湿性能较差和尾纤结构不合理,在此基础上经多次试验对比选择了耐高温高湿的耦合胶与合理的尾纤结构,改进措施落实到器件上以后再次进行了高温高湿试验以验证改进措施的有效性。试验结果表明改进后的Y波导多功能集成光学器件在85℃、85%RH的条件下贮存500h其性能不会下降,这相当于40℃、85%RH下的20780h,通过材料和结构上的改进使得可靠性提高到改进前的39.6倍。

近年来随着SOI晶片制备技术的成熟,SOI基波导光波导器件的研究日益受到人们的重视.介绍了弯曲波导、光耦合器、可调谐光衰减器、光调制器和光开关等常见的SOI基光波导器件的一些研究进展.