通过综合应用复杂可编程逻辑器件(CPLD)与超声技术,实现了可实时监控的SF6微量气体浓度检测仪的研制,精度可达50ppm,与传统的SF6微量气体浓度检测仪相比,该仪器具备操作简便、价格便宜等优点.仪器核心内容已分别申报发明(200510037936.2)和实用新型专利(200520069403.8),已在进行产品生产.