扫描探针显微镜（SPM）作为高精度显微工具的同时，还可以作为加工工具对样品表面进行刻蚀加工。扫描探针刻蚀加工技术（SPL）近年来发展迅速。本文综述了基于SPM的扫描探针机械刻蚀技术，并介绍了DPN技术的机理及最新研究进展。

文章综述了扫描探针刻蚀技术的最新研究进展，并介绍了扫描探针刻蚀加工机理。

一种新的表征技术——扫描探针声学显微成像技术(Scanning Probe Acooustic Mi-croscopy)已在我们实验室建立起来,可以用它来直接观察PMN-PT弛豫铁电单晶、透明PLZT陶瓷、无铅Bi4(Ti,Nb)3O12陶瓷等材料的纳米极性微区和弹性作用区,并显示了在低频工作状态下可以达到10nm的分辨率.

压电微音叉具有良好的谐振特性，并易于实现其振动的检测。利用这些特性，与钨探针结合，构成了一种新型的表面轮廓扫描测头。该新型测头与X-Y压电工作台结合，采用与TM-AFM相同的工作原理，构成了扫描探针显微镜。介绍了压电微音叉扫描测头的构成、工作原理及主要特性，给出了所构成的扫描探针显微镜测量系统。通过实验及其结果，证明了新型测头具有高垂直分辨率、低破坏力等优点。除此之外，由于采用了有效长度大的钨探针，使大台阶微观表面的测量成为可能。

扫描近场光学显微镜(SNOM)打破了传统光学显微镜的衍射极限分辨率,自80年代中期出现以来在10多年的时间内获得了迅速的发展,并在很多的领域有很广阔的应用前景。扫描探针的形状及针尖的大小是影响SNOM分辨率的关键因素之一。本文利用自己设计的实验装置提出一种制备探针的新颖热拉法,并将热拉法和腐蚀法相结合,大大提高了实验的成功率。两种方法获得的针尖最优尺寸分别可达96nm和76nm。

扫描探针显微技术已在纳米甚至原子级的形貌获取中得到了广泛地应用。其分辨本领在很大程度上依赖于探针的形貌尺寸。传统的检测探针的方法大多对针尖的损伤很大或需要复杂的仪器，这就使这些方法带有一定局限性。本文提出利用扫描图像中反映的探针信息数值求解探针形貌的方法，利用探针扫描不同样品所得到的扫描图像还原探针的形貌，结果显示用此算法能够还原出原针尖的形貌。为了更好地与实际结果对比，用原子力显微镜扫描图像来验证此方法的正确性，结果显示反构造的探针形貌结果与MI公司所提供的探针尺寸吻合很好。

针对原子力显微镜(AFM)的线宽和轮廓的精确测量,对AFM探针的原位有效参数进行了定义和表征,提出使用AFM探针的原位有效参数对AFM的线宽测量结果进行修正的模型.采用有效半径和半内角表征AFM探针的复合形状,悬臂轴倾角表征探针的安装状态,设计了具有不同梯形截面的两个表征样板,通过对表征样板进行AFM和扫描电子显微镜(SEM)的比对测量获得了探针的原位有效参数.提出了在线宽测量中,当AFM的扫描轮廓线具有不同的斜度时分别采用的不同的修正公式.采用此公式和探针的原位参数对掩膜板的AFM线宽测量结果进行了修正.