10年前压电陶瓷还只是作为一种新的材料面世,其应用也是介绍日本和欧美的情况,如今压电陶瓷的应用已进入国民经济的各个领域。压电器件以其独特的优越性能,在航空、航天、集成制造等精密工程领域中正发挥越来越重要的作用。 本文首先介绍了压电器件在航天、航空、精密机械制造、控制等高新技术领域中的应用;分析了不同类型压电陶瓷材料和各种不同压电器件的性能;最后指出设计和研制中的一些问题。

STM是一种具有纳米级分辨率的精密显微镜.文章简述了STM的基本原理和扫描模式,并总结了国内外将STM应用于机械领域的研究工作,最后对其发展进行了展望.

本文在比较了误差分离的几种方法之后,着重讨论了多步法的方法误差和系统误差。按此法建立了计算机辅助毫微米圆度测量系统,将圆度仪的测量精度(2σ)从原来的0.025微米提高到0.002微米,足以满足精密工程、惯性技术和宇航科学等领域对超精圆球的计量要求。

文中阐述了超精密加工技术的发展现状及实现方法.通过介绍微机器人技术在超精密加工中的具体应用,论证了微机器人技术在超精密加工及精密工程中的应用价值.