针对分立元件电路噪声与干扰大的特点，设计了基于调制解调方法的微加速度计闭环检测系统，详细介绍了该闭环检测系统的原理框图及实现方法，讨论了该闭环检测系统的数学模型，并且利用精密转台对该微加速度计的性能进行了测试，测试结果表明，该微加速度计测量线性度为2．5％，量程为±1g，刻度因子为3V／g。

设计了一种“叉指式”微机械加速度计和相应的闭环检测电路,介绍了此微加速度计的加工工艺,并使用Ansys软件进行了模态分析和机械分析,仿真结果跟理论计算相吻合。最后对该闭环微加速度计进行了测试,得到的测量线性度为2.5%,刻度因子为3V/g。

针对一种基于压电激励方式的杯形波动陀螺谐振子,进行理论分析并采用有限元软件,得到了谐振子在工作模态下的轴向与周向振幅分布特性,通过给出挠度函数重点分析了谐振子的径向振幅计算问题;最后对25 mm的杯形波动陀螺谐振子样机进行了试验验证。研究结果表明将谐振子沿轴向的振幅变化作线性处理是合适的,由仿真分析引出的幅值计算函数适用于实际情况分析,同时也为杯形波动陀螺谐振子的参数化建模及结构优化设计提供了依据。