详细分析了三点法中测头的读数及角位置误差对圆度测量精度的影响。从三点法的原理出发，根据误差理论，推导了测头及位置误差在圆度测量过程中的误差传播关系式。

论述了三点法圆度及轴系运动误差测量系统中确定三个测头最佳角位置的方法。通过分析测头读数误差对圆度各次谐波测量精度的影响，提出了确定三个测头最佳角位置的优化策略，基于Ｍｏｎｔｅ Ｃａｒｌｏ思想和单纯形模式搜索方法编制了高效，高精度的寻优程序。

本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点。实用表明：该系统控制的刻划机的定位精度σ＝３．６ｎｍ，最大定位误差为１４．６ｎｍ。

目的 对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进。方法 以８阶Ｂｕｔｔｅｒｗｏｒｔｈ滤波器ＭＡＸ２９１为核心元件，设计了该系统的动态测量电路，提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法。结果与结论 改进后的电容测微仪在±１０μｍ的量程内非线性误差最大不超过０．８０％，重复性精度优于０．１５％，测量精度优于０．１０μｍ，频响范围达４．２ｋＨｚ。