微型工厂是小型产品制造系统的一个创新概念.本文介绍了微型工厂概念提出的背景和科学意义,阐述了目前微型工厂微型制造系统的研究发展概况,探讨了制造设备与系统微型化技术的关键问题,并且提出了一些需要开展的研究方向.

将微细铣削技术应用到了带三维微结构的惯性MEMS器件的加工中．该类惯性MEMS器件由高弹性合金制作，特征尺寸在10μm～200μm，加工精度要求在±1μm，而且对加工残余应力有较高要求．利用自行研制的三轴联动微小型精密铣床，在研究了微径铣刀的悬伸量、径向切深、每齿进给量等切削参数对切削力影响的基础上，提出了最佳切削参数，成功实现了该器件的加工，并采用微桥法对其弹性模量和残余应力进行了测量．

由于微机电系统（MicroEleetroMechanicalSystem，MEMS）在微小零件加工中存在不足，微细铣削加工作为一项补充技术正在日益受到人们的重视。介绍了研制的微型精密三轴联动立式铣床（300mm×300mm×290mm）的系统构成，开发了中文控制软件并集成了视频采集系统，此设备在薄膜型工件（膜厚65μm）的微槽加工中取得了满意的效果（膜厚方向上材料去除率90．7％，成品率大于80％）。对微径端铣刀进行了力学特性分析，并通过刀具磨损试验分析了微径硬质合金TiAlN涂层及非涂层铣刀的磨损机理。最后通过槽铣硬铝2A12的试验研究了切削用量（主轴转速、背吃刀量和每齿进给量）对微细铣削力的影响，为微细铣削切削机理的深人研究奠定了基础。

介绍了微型机床与微型工厂概念提出的背景和科学意义,综述了目前微型工厂/微型制造系统的研究发展概况,探讨了制造设备与系统微型化的关键问题,指出了一些需要开展的研究方向,并提出了几项建议.