本文研究了一种始终使得光学测头处于焦点位置，以正交衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统，以压电陶瓷作为驱动部件的非接触表面轮廓测量仪，用于实现对零件表面粗糙度，波度，表面形状误差和尺寸的综合测量。论文着重介绍了该仪器的整体结构，测量原理及衍射光栅干涉计量系统的工作原理。

针对节流调速实现方式的特点和所要达到的目的，规划出虚拟仪器软件的中心任务和功能模块的调用结构，针对命令、发布和数据采集中可能产生的误差进行模块化的功能设计。以数字化的液压元件为基础，根据液压原理建立应用软件算法结构的数学模型。使得节流调速方式的调节精度在虚拟仪器技术条件下得到较大提高，节流调速的结果得以在更为精确的数据和图线中体现。

新型磁流变伺服阀由磁流变阻尼阀构成，阻尼阀由专用的电流控制器控制，依据电流调节改变磁场强度达到控制阻尼阀中液体阻尼力大小的目的。分析了电流控制器的设计原理，据此基于虚拟仪器技术设计出操作软件，针对电流控制器的特点和技术指标，改变输入电压大小以调节电流控制器的输出电流，在阻尼阀动态工作过程中实时监测输入和输出信号以提供分析数据。实验结果显示，该控制器可使得阻尼阀工作稳定，伺服系统性能达到设计要求。