传统的清洗方法及设备由于水溶液的表面张力大，很难有效清洗精密零部件的微孔及狭缝中的污物，且干燥过程复杂，以超声波辅助超临界CO2清洗可以克服上述缺点。超临界CO2具有表面张力小、快速移动能力，高溶解性、强扩散性、不添加化学试剂、循环利用的特性，在精密零部件的微孔及狭缝清洗中有良好的应用前景。提出了一种超声波辅助超临界CO2清洗精密零部件设备，包括筒体、内夹套、超声波换能器、料框、磁力驱动装置、封头、快开结构．该设备可同时实现超临界CO2、超声波振荡及零部件旋转清洗，为精密零部件的无水精密清洗提供了可能。