色散物镜是光谱共焦显微镜的关键组件,其轴向色散线性度和色散范围会影响光谱共焦显微镜的性能。在线性轴向色散的理论基础上,研究了优化选择材料组合的方法,给出了优化模型和求解方法,得到了具有最大色散的材料组合及其光焦度分配,并使用光学设计软件对优化结果进行了模拟。模拟结果表明,使用本文优化方法得到的材料组合,波长与轴向色散成线性关系,而且具有最大的轴向色散。使用得到的最大色散材料组合进行色散物镜设计,得到了较好线性度的色散物镜,并具有较短的有效焦距。本文给出的优化选择材料组合的方法可以为设计光谱共焦显微镜提供指导,有效缩短镜筒长度,提高光谱共焦显微镜的性能。

本文对圆柱同轴度的测量原理、圆柱同轴度调整方法作了详细分析.选择高精度激光位移传感器LK031来实现同轴度测量,由自编软件给出调整量,对测量仪器的误差分析表明,测量方案满足测量要求.

介绍了一种基于高精度圆度仪的平行度、平面度测量方法.对于零件圆形端面可实现无盲区测量,对50 mm端面测量,扩展测量不确定度(k=2)可达到0.2 μm,解决了高精度平面度、平行度的测量问题.