设计了一种六自由度关节式柔性坐标测量机，并对该测量机测量方程中的参数进行了辨识，提出了一种快速简易的单点锥窝标定方法。该方法基于单点锥窝提供的空间单点基准，利用非线性最小二乘中的高斯-牛顿法，求解测量机测量方程的参数值。实验结果表明，该方法能够有效提高测量机的整体精度，且操作简单、计算效率高。

该文探讨了一种三自由度（DOF）平行双关节坐标测量机的测量原理和测量模型。分析了该测量机上的圆光栅测角误差对测量机测量精度的影响，给出了测角误差的补偿公式，利用该公式优化了测量机的测量模型。采用标准多面棱体和光电自准直仪对2个圆光栅的测角误差进行实验检定，并对测角误差修正前后的平行双关节坐标测量机测量精度进行了实验比对。结果表明，测量的极限偏差由0．033mm降至0．015mm，而标准差由0．0141mm降为0．0061mm，说明修正2个圆光栅的测角误差可大幅提高该测量机的测量精度。

长悬臂三坐标测量机是用来在线测量工字钢结晶器内腔尺寸的，测量运行过程中，由于长悬臂及测杆的弱刚性和各轴传导结构的非理想性，造成测杆端部的空间抖动，直接影响测量精度。论文结合有限元分析了产生抖动的原因，基于面阵CCD和图像处理技术，建立检测系统并建模，实时检测测头触发瞬间测杆端部在空间3个方向的抖动位移，在VC＋＋6．0环境下编写软件，通过软件计算实时修正抖动对测量精度的影响。并通过试验验证了该系统的实用性。