应用光衍射理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统,建立了衍射莫尔信号与对应位移的数学模型,并通过计算机仿真对莫尔信号的位移特性进行了研究.在此基础上构建了一套精密位移测量与控制装置,取差动零次激光莫尔信号为控制信号,由微机控制实现高精度位移检测及全自动精密定位.实验结果表明,基于激光莫尔信号的精密检测与控制装置可获得得5nm的位移分辨率及±0.4μm的定位精度.

应用光学理论研究了透射式激光莫尔信号的位移特性，建立了衍射莫尔信号强度与对应位移的数学模型，并通过计算机仿真对莫尔信号的位移特性进行了研究．在此基础上设计了一套基于激光莫尔信号的超精密定位系统，系统取透射的零次莫尔信号为控制信号，由微机控制实现高精度位置检测及精密自动定位．针对精密定位高精度与大行程之间的矛盾，提出了一种利用一对细光栅实现复合定位的解决方法，通过粗定位和精定位相结合的两段式复合定位，可保证在较大的信号捕捉范围内，实现高速高精度定位．由于系统仅使用一对光栅，结构简单、可靠性高．实验结果表明，基于一对衍射细光栅的复合式精密定位可在±500μm信号捕捉范围获得±10nm的定位精度，对精密加工工程领域具有重要的实用价值．

介绍了以ARM9处理器芯片S3C2410为基础搭建的LCD（液晶显示器）硬件电路,以及在此基础上移植嵌入式Linux之后,基于帧缓冲（Framebuffer）的LCD驱动程序的实现方法.讨论了Framebuffer的处理机制及底层驱动的接口函数,并针对具体的LCD面板,介绍了如何在μCLinux中编写帧缓冲设备的驱动程序.系统功能丰富,为各种扩展提供了基本的软硬件基础.