微观表面力测量技术已经成为研究微观界面物理、纳米材料和纳米机械学等领域的重要手段,本文介绍了利用原子力显微镜(AFM)进行固体表面长程粘着力的测量,并分析了在大气条件下,不同湿度对表面粘着力的影响.

本文作者采用光学式角度传感器，制作了探针驱动式角度测量型原子间力显微镜（ＡＦＭ），它区别于历来的原子力显微镜信号的位移测量方法，克服了以往测量方法对被测的尺寸、重量衣扫描速度的限制。

碳纳米管具有小的半径、高的长径比、高的弹性模量和弯曲强度和导电特性,这使得它很适合做原子力显微镜探针进行高分辨率测试和纳米级加工,并使加工的纳米点、线和复杂图形在加工过程中保持比较一致的形状和高的纵横比.文中提出了一套制备碳纳米管探针的热丝化学气相沉积(HF-CVD)装置,叙述了HF-CVD的原理、装置以及在纳米加工上的应用.

简述了使用临界角角度传感器的探针驱动角度检出型ＡＦＭ的测量原理及在液体中进行测量的原理，并对在空气中和液体中的测量结果进行了分析比较。

通过对利用原子力显微镜（AFM）阳极诱导氧化作用下在硅表面生成纳米氧化结构的特征的讨论，发现通过改变加工时的偏置电压和脉冲宽度，氧化点高度和宽度与所施加偏置电压呈对数关系，氧化点高度与宽度与脉冲宽度呈指数关系；同时发现在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度，氧化点结构的高度和宽度随相对湿度的增加而增加．文中对该现象进行了讨论，并对加工条件进行了优化．