针对目前滚珠丝杠螺母内滚道型面检测方法具有效率低、受人为因素影响大等弊端,提出一种非接触式测量方法。该方法基于激光三角原理,采用直角棱镜改变光路的安装方式将高精度激光测头用于检测滚珠丝杠螺母内滚道型面。将测得的数据利用最小二乘法线性拟合,得到滚道轮廓数据,从而计算得到具体参数。最后对测量误差进行了分析,并利用钢球法分析出了系统误差。该方法具有精度高、测量速度快、不损伤测件等优点,且可以解决激光难以伸入测量内滚道的技术难题。

针对现有导轨副滑块型面精度检测装置精度低、专用程度不足和自动化水平落后等问题,提出一种激光位移传感器倾斜测量的方案,根据该方案设计专用检测装置。装置设计主要针对实现其测量过程的结构设计,包括试验台整体设计、夹具台设计、滑块基准面测量部件设计等,同时也对测控系统进行设计以保证运动的控制与数据的采集。最后对检测装置进行精度分析并与现有的测量装置的方法进行对比,展现该装置的优越性。