使用要求离轴椭球镜的面形PV（峰谷）值优于0．4λ（λ=351nm）。根据三级像差理论球差表达式和补偿检验原理，得出检测光路中球面补偿镜的半径表达式。由已知数据求解补偿光路的初始结构参数，并带入软件中得到优化后的设计结果，优化后的结果和初始结构参数没有变化，说明补偿光路的求解方法是正确的。考虑到元件的加工误差和检测光路的调试误差，将误差带入检测光路进行模拟分析后，得出被检元件的面形精度：取98％的合格概率时，椭球镜的面形PV为0．379λ（λ=351nm），能够满足使用要求．说明离抽椭球面的反射式补偿检验法是可行的．

根据系统的使用要求以及椭球面特有的成像性质,提出使用离轴椭球面来完成光束取样和完善成像的设计方式.利用设计输入,计算出镜面的初始结构参数,得到离轴椭球面的二次曲线方程,将计算结果带入光学设计软件ZEMAX中验证成像质量.结果表明：离轴椭球面不但将物点和像点分开,减小了系统的长度,而且在像点处成完善像,将离轴成像转换为轴上成像,使后续光斑成像系统的高质量成像易于实现.

在检验光路中,采用补偿透镜来补偿口径为φ500mm的非球面透镜的使用波长（λ=1053nm）与检测波长（λ=632.8nm）之间的色差。给出补偿透镜的求解方法,得到非球面透镜的补偿检验光路,并就非球面透镜的检验精度进行分析。通过精度分析可以看出,在此种补偿检验光路下,非球面透镜的透射波前PV不低于0.2λ（λ=632.8nm）,可满足元件的精度要求。

研制出了一种能在外场使用的哈特曼物镜，该物镜口径为300mm，焦距800mm，视场为-1～1mrad，在0．532nm、0．6328nm、1．064nm三种波长（λ）下工作，主波长为0．6328nm。该系统光学材料全部采用德国进口Schott熔石英玻璃，物镜是高次非球面，用WYKO干涉仪检测，检测结果表明物镜波面误差PV值为λ／12，均方根值RMS优于λ／100。

微泵动态性能分析是微泵设计中的重要环节，通常是利用有限元分析完成的，而现有的微泵有限元动态分析缺少参数化设计环境支持。针对这一现状，该文采用现代软件开发方式对微泵动态分析参数化建模系统（MDAPMS）进行了分析，采用UML、SQL server和JAVA分别对系统建模、系统数据库和系统软件进行了研究，开发出了MDAPMS原型工具软件，并以热驱动微泵为例进行示范验证，为微泵动态分析提供了一种新的手段。

在分析原有快速顶锻机的缺陷机理以及改进方法的基础上对该设备液压系统、配套电控系统进行了改造从而提高了快速顶锻机的作业效率。