随着科学技术的发展,纳米微米技术也随之得到发展,尤其近些年内,国内外在微制造技术的发展取得了很大进展,如LIGA电铸技术及IC技术,使得某些微机械、微马达、微传感器、微加速度计及微型泵等得以实现,并有的已经成为商品。微型泵的研究,近几年发展也很快,它是微循环系统,微分析系统等等不可缺少的主要器件,国外已有很大突破。本文拟介绍德国KARLSRUHE研究中心,微结构技术研究所所研制的一种新型薄膜微型泵。